Vakum göstergesi kalibrasyonuvakum ölçümü alanında çok önemli bir rol oynar ve vakum ölçümünün tüm araştırma ve geliştirmesi için önemli bir destekleyici araçtır. Kalibrasyon sayesinde, mevcut ilgili vakum ölçüm cihazları güvenilir standartlar altında birleştirilebileceği gibi, geliştirme aşamasındaki vakum ölçüm cihazlarının performansına ilişkin derinlemesine araştırmalar da yapılabilir.
"Vakum göstergesi kalibrasyonu" olarak adlandırılan işlem, esas olarak ilgili vakum göstergesinin "kalibrasyon" işlemine atıfta bulunur. Bir vakum ölçerin kalibrasyonunun, kalibrasyon katsayılarının veya kalibrasyon eğrilerinin elde edildiği, belirli bir gaz türü için belirli koşullar altında gerçekleştirildiğine dikkat edilmelidir.
Gaz türü değiştiğinde veya çalışma koşulları değiştiğinde orijinal kalibrasyon eğrisi artık geçerli değildir ve yeniden kalibre edilmesi gerekir. Aynı ölçüm aleti için bile manometre değiştirilse kalibrasyon eğrisi de buna bağlı olarak değişecektir. İlgili vakum göstergesinin kalibre edilmesinin sadece gerekli olmadığı, aynı zamanda düzenli olarak yapılması gerektiği de görülebilir, aksi takdirde izin verilen aralığın ötesinde ölçüm hataları meydana gelebilir.
Kalibrasyon, hem birincil alet olarak vakum ölçeri hem de ikincil alet olarak elektronik devreyi kapsayan genel vakum ölçeri hedef alır. Genellikle ikisi birlikte kalibre edilir, ancak vakum ölçer göstergesini ve elektronik devreyi ayrı ayrı kalibre etmek daha idealdir.
Vakum ölçer kalibrasyonu, standart bir vakum ölçer ve kalibrasyon sistemi gerektirir ve belirli yöntemlerle gerçekleştirilir.
Vakum standartları mutlak vakum ölçerleri, standart bağıl vakum ölçerleri (veya ikincil standart vakum ölçerleri) ve mutlak kalibrasyon sistemlerini içerir.
Tüm mutlak vakum göstergeleri vakum standartları olarak hizmet edebilir. Referans olarak mutlak bir vakum ölçer kullanan ve standart olarak basınç düşüşünden sonra yenilenen düşük basıncı doğru bir şekilde hesaplayan vakum ölçer kalibrasyon sistemine mutlak kalibrasyon sistemi denir.
Örneğin, genleşme yöntemi kalibrasyon sistemi, Boyle'un ideal gazlar yasasına dayanan statik termal denge ilkesini uygular. Bu sistem, U borulu basınç göstergesinin kalibrasyon alt sınırını yüksek vakuma (10 ⁻⁴ Pa) kadar genişletir. Yüksek kararlılığa ve doğruluğa sahip vakum göstergeleri, kalibrasyondan sonra çalışan vakum göstergelerinin kalibre edilmesinde ikincil standart olarak kullanılabilir. Bu tür vakum göstergelerine ikincil standart vakum göstergeleri denir. Metroloji alanında standartlar doğruluk düzeylerine göre düzenlenmiş bir sistemdir.
1 Mayıs 1990'da Devlet Teknik Denetleme İdaresi, önemli bir standart olan "Vakum Ölçüm Cihazı Kalibrasyon Sistemi"ni (JJG2022-89) onayladı ve uygulamaya başladı.
Modern teknolojinin hızla gelişmesiyle birlikte vakum teknolojisi alanında da önemli ilerlemeler kaydedilmiştir. Şu anda, vakum elde etme ve ölçüm aralığı, orijinal atmosferik basınçtan (10 ⁵ Pa) çok geniş bir son derece yüksek vakum aralığına kadar genişleyerek büyük ölçüde genişlemiştir (<10 ⁻¹⁰ Pa).
Ancak gerçek endüstriyel üretim ve bilimsel araştırma faaliyetlerinde, kapsamlı uygulama ve istatistiksel keşifler sayesinde insanların dahil olduğu basınç aralığı esas olarak 10 ⁻⁸ ile 10 ⁵ Pa arasında yoğunlaşmıştır. Doğruluk ve tutarlılığı sağlamak için bu özel basınç aralığında Vakum ölçüm değerlerinin belirlenmesiyle "Vakum Ölçüm Cihazı Kalibrasyon Sistemi" ortaya çıkmıştır.
Bu doğrulama sistemi çok önemli bir rol oynamaktadır. Farklı bağlantılar ve ekipmanlar arasında vakum ölçüm değerlerinin etkili bir şekilde iletilmesini sağlayan, vakum ölçüm değerlerinin doğruluğunu ve güvenilirliğini sağlamada önemli bir bağlantıdır.
Özellikle vakum metrolojisi alanında, vakum zamanlama cihazlarının her seviyedeki doğruluğu, tüm ölçüm süreci için çok önemlidir. Kalibrasyon sistemi hassas bir cetvel gibidir; bu vakum zamanlama cihazları için birleşik bir ölçüm standardı sağlar ve çeşitli seviyelerde vakum zamanlama cihazlarının sıkı kalibrasyonunu sağlar.
Kalibrasyon sisteminin esas olarak 10 ⁻⁸ ila 10 ⁵ Pa spesifik basınç aralığını hedef aldığını da vurgulamak gerekir. Bu kapsamda metroloji departmanı tarafından kalibrasyon ve test için kullanılan vakum standart cihazı olsun, vakum ölçer olsun. Bilimsel araştırma departmanı tarafından deneysel süreçte kullanılan veya endüstriyel departman tarafından üretim sürecine dahil edilen vakum ölçüm ekipmanlarının tamamının vakum ölçüm değerlerinin doğruluğunu ve güvenilirliğini sağlamak için bu kalibrasyon sistemine göre kalibre edilmesi gerekir. endüstriyel üretim ve bilimsel araştırma süreci ve deneysel sonuç sapması, dengesiz üretim kalitesi vb. gibi yanlış vakum ölçümünün neden olduğu çeşitli sorunlardan kaçınmak için.
