Ultra Yüksek Vakumlu Mekanik Hidrofor Pompası
Ultra Yüksek Vakum (UHV) Mekanik Takviye Pompaları (Roots Takviye Pompaları), yüksek pompalama kapasitesinin ve hızlı pompalama{1}}durma sürelerinin gerekli olduğu düşük-basınçlı vakum sistemlerinde gaz çıkışını artırır.
Uyumlu bir destek pompasıyla (kuru vakum pompası veya döner kanatlı pompa gibi) birlikte çalışan güçlendirici, gazı hazne tarafından destek aşamasına aktarmak için pozitif-yer değiştirmeli mekanik etki kullanır. Bu, orta ila ultra-yüksek vakum basıncı aralığında etkili pompalama hızını önemli ölçüde artırır.
Teknik Özellikler
|
Parametre |
Şartname / Seçim Gereksinimi |
Mühendislik Hususları |
|
Ürün Tipi |
UHV Mekanik Hidrofor Pompası (Kök Prensibi) |
Pozitif-yüksek-yer değiştirme verimi artırıcı |
|
Flanş Standartları |
ISO-K / ISO-F, CF Flanşlar veya Özel |
İletkenlik ve UHV sızdırmazlık bütünlüğüne göre seçilmiştir |
|
Pompalama Hız Aralığı |
Modele-bağlı (Performans eğrilerine bakın) |
Sistem hattı iletkenliği ile birlikte hesaplanmalıdır |
|
Çalışma Basıncı |
Orta Vakumdan Ultra Yüksek Vakuma (UHV) |
Toplam pompalama dizisi ve hazneden gaz çıkışı ile yönetilir |
|
Destek Pompası Eşleştirme |
Kuru Pompa, Döner Kanatlı veya Döner Pistonlu |
Destek kapasitesi, yükseltici deşarj akışına uygun olmalıdır |
|
Maksimum Fark Basıncı |
Modele-özel izin verilen basınç sınırı (Delta P maks) |
Termal aşırı yüklemeyi ve mekanik gerilimi önler |
|
-Yan Malzemeleri Vakumlayın |
Paslanmaz Çelik, İşlenmiş Alaşımlar, Özel Kaplamalar |
Düşük gaz giderme oranı ve kimyasal direnç |
|
Sızdırmazlık Yapılandırması |
Elastomer (FKM/FFKM) veya Metal Contalar (CF) |
Helyum sızıntısı oranı ve yanma limitlerine göre seçilmiştir |
|
Helyum Sızıntı Oranı |
1 x 10^-10 mbar L/s'ye kadar |
Kütle spektrometresi sızıntı dedektörü ile doğrulandı |
Seçim ve Entegrasyon Kılavuzu
Doğru Roots takviye pompasını seçmek ve vakum sisteminize sorunsuz entegrasyon sağlamak için aşağıdaki çalışma noktalarını değerlendirin:
Pompalama Hızı ve Hedef Basıncı:Boru iletkenliğini hesaba katarak hazne girişinde gerekli etkin pompalama hızını hesaplayın.
Gaz Yükleme ve Proses Ortamı:Proses gazı bileşimini, aşındırıcı özellikleri, toz parçacıklarını ve malzeme gaz çıkış oranlarını tanımlayın.
Destek Pompası Uyumluluğu:Destek pompasının, izin verilen maksimum fark basıncını (Delta P max) aşmadan tahliye hacmini karşıladığından emin olun.
Termal ve Sistem Kilitleri:Kaba işleme aşamaları sırasında mekanik aşırı yüklenmeleri önlemek için basınç anahtarlarını, değişken frekanslı sürücüleri (VFD) ve soğutma kilitlerini yapılandırın.
Tipik Uygulamalar
Yarı İletken ve Elektronik:Düşük kirlenme gerektiren aşındırma, CVD ve litografi destek araçları için tahliye ve proses gazı işleme.
İnce-Film Biriktirme ve Kaplama:Yüksek verimli PVD, püskürtme ve optik kaplama işlemleri sırasında{0}kararlı çalışma basıncını korur.
Araştırma Laboratuvarları:Parçacık fiziği, yüzey bilimi ve uzay simülasyon odaları için-yüksek güvenilirliğe sahip vakum performansı.
Vakum Fırınları ve İşleme:Yüksek sıcaklıkta gaz giderme, vakumla sert lehimleme ve ısıl işlem sırasında-ağır gaz yüklerini verimli bir şekilde idare eder.
Kalite Kontrol ve Dokümantasyon
UHV güvenilirliği katı üretim ve doğrulama standartları gerektirir:
Temiz Oda İşleme:Düşük gaz çıkışı sağlamak için çok-aşamalı ultrasonik temizleme, solvent yağdan arındırma ve tozsuz-paketleme.
Hassasiyet Testi:Dinamik rotor dengeleme, boyut doğrulama ve kütle spektrometresi helyum sızıntı testi.
Belge Teslimatları:Modele-özel pompalama hızı eğrileri, CAD/STEP taslak çizimleri, motor elektrik özellikleri, malzeme sertifikaları ve sızıntı testi raporları.
SSS
S: Ultra Yüksek Vakumlu Mekanik Takviye Pompasının temel işlevi nedir?
C: Ultra Yüksek Vakumlu Mekanik Takviye Pompası, düşük-basınçlı vakum sistemlerinde etkili pompalama hızını ve gaz çıkışını artırır. Gazı vakum odasından destek pompasına aktararak hızlı tahliye ve daha yüksek nihai basınç performansı sağlar.
S: Roots mekanik takviye pompası, destek pompası olmadan bağımsız olarak çalışabilir mi?
C: Hayır. Mekanik bir takviye pompası, gazı atmosferik basınca boşaltmak için uygun bir destek pompasına (kuru pompa veya döner kanatlı pompa gibi) ihtiyaç duyar.
S: Neden yalnızca nominal pompalama hızına dayalı bir takviye pompası seçmekten kaçınmalıyım?
C: Nominal pompalama hızı, gerçek dünyadaki sistem kayıplarını hesaba katmadan ideal yer değiştirmeyi temsil eder-. Gerçek performans, vakum-hattı iletkenliğine, destek pompası kapasitesine, çalışma basıncına ve hazne gaz yüküne bağlıdır.
S: Destek pompasının çalışması sırasında termal aşırı yüklemeyi nasıl önleyebilirim?
A: Çalışma basıncının izin verilen diferansiyel limit (Delta P max) dahilinde tutulmasıyla termal aşırı yük önlenir. Hidroforun başlatılmasını kontrol etmek için bir basınç tahliye vanası, değişken frekanslı bir sürücü (VFD) veya bir basınç anahtarının kullanılması-, pompayı aşırı gaz yüklerinden korur.
S: Üretim sırasında hangi UHV temizlik önlemleri alınıyor?
C: UHV servisi için, vakum-yan bileşenleri, hidrokarbon kalıntısını ortadan kaldırmak amacıyla ultrasonik yağdan arındırma gibi özel temizleme işlemlerinden geçirilir.
Popüler Etiketler: ultra yüksek vakumlu mekanik takviye pompası, Çin ultra yüksek vakumlu mekanik takviye pompası üreticileri, tedarikçiler, fabrika
